El proceso para ser vecino de Cabanillas durante el siglo XVI incluía a dos vecinos fiadores, y si la persona abandonaba antes de 10 años el pueblo, los fiadores debían pagar 2.000 maravedíes.
La evolución de la población durante estos siglos fue la siguiente:
En 1455: 132 habitantes
En 1539: 600 habitantes
En 1569: 824 habitantes
En 1591: 1252 habitantes
En 1625: 1124 habitantes
En 1752: 488 habitantes
En 1787: 339 habitantes
Aquí se observa claramente los años de apogeo y decadencia de la villa, que coinciden con la mayoría de los pueblos castellanos de la época.